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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:有線 2 軸精密數(shù)字水平儀

  • 產(chǎn)品型號:SELN-001B
  • 產(chǎn)品廠商:SEM坂本電機製作所
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
這種雙軸數(shù)字水平儀(有線)是一種高精度且輕量級的水平儀。與普通水平儀相比,這種數(shù)字水平儀可以通過數(shù)字方式顯示,現(xiàn)場調(diào)節(jié)非常方便。此外,顯示屏和水平儀通過線連接,因此可以遠(yuǎn)程測量。由于重量輕便,可以在晶圓處理部件等敏感區(qū)域進(jìn)行測量。氣泡會顯示在顯示器屏幕上,你可以像看氣泡水平儀一樣進(jìn)行調(diào)節(jié)。由于它是數(shù)字化顯示的,操作員的讀取方式?jīng)]有變化。
詳情介紹:
一、數(shù)字水平儀核心特點與優(yōu)勢
超高精度雙軸測量:X/Y 軸角度精度達(dá) ±0.001°(17.5μm/m),零點重復(fù)精度≤±0.001°,分辨率 0.0002°,能精準(zhǔn)捕捉微小傾斜,避免單軸測量的反復(fù)調(diào)整誤差。
雙軸同步高效調(diào)平:支持 X/Y 軸同時檢測與調(diào)整,相比傳統(tǒng)單軸水平儀大幅縮短作業(yè)工時,減少調(diào)整步驟,統(tǒng)一作業(yè)者操作標(biāo)準(zhǔn),降低人為誤差。
狹窄空間適配性強:傳感器尺寸?。é?0×19mm,含 SVS 底座重 70g),可輕松對垂直間距狹窄的零件進(jìn)行水平觀測,適配各類精密設(shè)備的復(fù)雜安裝環(huán)境。
操作友好易上手:配備 4.3 英寸彩色 LCD 觸摸屏,可像看氣泡水平儀般直觀調(diào)整;能設(shè)置合格角度范圍,初學(xué)者也可快速完成水平調(diào)整,還支持多種單位切換,適配不同作業(yè)需求。
穩(wěn)定耐用適配廣:具備防塵與抗電磁干擾設(shè)計,工作溫度范圍 - 10℃至 + 50℃,機身輕便(約 96×35×145mm,重 280g),電源可選 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池,使用靈活。
、數(shù)字水平儀主要技術(shù)參數(shù)
測量核心:X/Y 軸線性角度測量范圍均為 ±0.3°,測量分辨率 0.0002°,零點重復(fù)精度≤±0.001°,響應(yīng)速度≤50ms。
顯示與處理:搭載 32 位微處理器、14 位 A/D 轉(zhuǎn)換器,A/D 分辨率 0.000025°,顯示單位可切換 μm/m、角度(°、°′″),量程切換有 0.01/0.001/0.0001 三檔,超量程(0.3° 及以上)會觸發(fā) OVER 顯示。
尺寸與重量:傳感器尺寸 Φ50×19mm,含 SVS 底座重 70g;主機尺寸約 96×35×145mm,重量 280g。
供電與環(huán)境:電源為 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池,工作溫度 - 10℃至 + 50℃,適配工業(yè)常見工作環(huán)境。
、數(shù)字水平儀典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造領(lǐng)域:用于光刻機、晶圓鍵合機、CMP 化學(xué)機械拋光平臺等設(shè)備的水平校準(zhǔn),保證晶圓刻蝕、光刻等工序的芯片良率,適配無塵車間與振動環(huán)境。
精密加工設(shè)備:適配五軸加工中心、坐標(biāo)測量機、光學(xué)平臺等,校準(zhǔn)基準(zhǔn)面水平度,保障加工精度,其數(shù)據(jù)可輔助設(shè)備維護(hù)與歷史數(shù)據(jù)追溯。
工業(yè)機器人與自動化產(chǎn)線:用于機器人關(guān)節(jié)、機械臂安裝基座的水平校準(zhǔn),適配狹小安裝空間,配合快速響應(yīng)特性滿足在線檢測需求,保障自動化作業(yè)精度。
特種設(shè)備安裝:如風(fēng)力發(fā)電機組、衛(wèi)星接收天線、大型精密儀器的安裝調(diào)試,可通過外接顯示器實現(xiàn)遠(yuǎn)距離測量,精準(zhǔn)把控安裝水平度。
精密儀器維護(hù):適用于各類精密檢測儀器的定期水平校準(zhǔn),統(tǒng)一維護(hù)標(biāo)準(zhǔn),降低儀器因水平偏差導(dǎo)致的測量誤差。
、數(shù)字水平儀操作流程簡述
準(zhǔn)備工作:根據(jù)使用場景選擇電源(AC 適配器或 AA 電池),將傳感器通過有線連接主機,安裝 SVS 底座并將傳感器平穩(wěn)放置在待測量基準(zhǔn)面,確保接觸面清潔無異物,避免影響測量精度。
設(shè)備初始化:開機后進(jìn)入主界面,完成零點校準(zhǔn)(將傳感器置于標(biāo)準(zhǔn)水平臺,長按零點校準(zhǔn)鍵,待數(shù)值穩(wěn)定后確認(rèn)),根據(jù)需求切換顯示單位(如 μm/m、° 等)與量程檔位,設(shè)置合格角度范圍參數(shù)。
水平測量與調(diào)整:觀察觸摸屏上 X/Y 軸的實時傾斜數(shù)據(jù),同步調(diào)節(jié)待校準(zhǔn)設(shè)備的支撐結(jié)構(gòu),直至數(shù)值處于合格范圍內(nèi),期間可實時查看數(shù)據(jù)變化,避免過度調(diào)整。

數(shù)據(jù)記錄與收尾:測量達(dá)標(biāo)后,可通過外接設(shè)備記錄當(dāng)前數(shù)據(jù)用于后續(xù)追溯;測量結(jié)束后關(guān)機,取下傳感器與主機,做好清潔收納,長期不用時取出電池,避免設(shè)備損壞。

數(shù)字水平儀監(jiān)控詳情

數(shù)字水平儀規(guī)格

物品 目錄
傳感器部門 線性 - 角度 X方向±0.3度Y,±0.3度
測量分辨率 0.0002度
零點重復(fù)性 ±小于0.001度
響應(yīng)速度 不到50毫秒
服務(wù)溫度 -10°C~+50°C
身體部位 微控制器 32位
A/D部門 14位
測量范圍 ±0.3度
A/D 分辨率 0.000025 deg
展示單元 0.0001 度
傳球范圍設(shè)定范圍 0.0001 度
范圍切換 0.01/ 0.001/ 0.0001
OVER 表示 0.3度或更高
特色 傳感器連接數(shù)量 1 ch
展示部門 4.3英寸彩色LCD觸摸面板
480×272個點
電源 專用交流適配器 DC6V/2A
4節(jié)AA電池(1.5伏)
尺寸 監(jiān)視器 W96×D35×H145毫米
傳感器(基于 SUS) φ50×H19 mm
電纜 2米
重量 監(jiān)視器 392克
傳感器 70克
配件 4節(jié)AA電池(1.5伏)
專用交流適配器 DC6V/2A
說明書
保修卡

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