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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:帶數(shù)據(jù)存儲雙軸精密數(shù)字水平儀

  • 產(chǎn)品型號:SELN-011B
  • 產(chǎn)品廠商:SEM坂本電機製作所
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
這種雙軸數(shù)字水平儀(有線)是一種高精度且輕便的水平儀。與普通水平儀相比,它可以通過數(shù)字方式顯示,便于現(xiàn)場調(diào)整。此外,顯示屏和水平儀通過線連接,因此可以遠(yuǎn)距離測量。由于重量輕便,可以在晶圓處理部件等敏感部位進行測量。氣泡會顯示在顯示器屏幕上,你可以像看氣泡水平儀一樣進行調(diào)整。由于它是數(shù)字顯示的,操作員讀取時不會有變化。使用SELN-011B,數(shù)據(jù)可以存儲在主機上,稍后用SD卡檢索,或者通過USB端口串行通信實時輸出數(shù)據(jù)并顯示到計算機上,便于存儲數(shù)據(jù)。
詳情介紹:
一、SELN-011B核心特點與優(yōu)勢
雙軸高精度測量:X/Y 軸角度精度達(dá) ±0.001°(17.5μm/m),零點重復(fù)精度≤±0.001°,分辨率 0.0002°,能精準(zhǔn)捕捉微小傾斜,避免單軸反復(fù)調(diào)整誤差,保障測量結(jié)果可靠。
雙軸同步高效調(diào)平:支持 X/Y 軸同時檢測與調(diào)整,大幅縮短作業(yè)工時,減少調(diào)整步驟,統(tǒng)一作業(yè)者操作標(biāo)準(zhǔn),降低人為誤差,提升批量設(shè)備調(diào)平的一致性。
狹窄空間適配強:傳感器尺寸僅 Φ50×19mm,含 SVS 底座重 70g,可輕松對垂直間距狹窄的零件進行水平觀測,適配各類精密設(shè)備的復(fù)雜安裝環(huán)境。
數(shù)據(jù)存儲輸出便捷:具備角度數(shù)據(jù)文件存儲功能,支持 USB 實時外部輸出角度數(shù)據(jù),方便后續(xù)數(shù)據(jù)追溯、分析與報表生成,適配自動化產(chǎn)線的質(zhì)量管控需求。
操作友好適配廣:4.3 英寸彩色 LCD 觸摸屏操作直觀,可像看氣泡水平儀般調(diào)整;能設(shè)置合格角度范圍,初學(xué)者也可快速上手,支持 μm/m、°、°′″等多單位切換,工作溫度范圍 - 10℃至 + 50℃,防塵抗電磁干擾,適配工業(yè)復(fù)雜環(huán)境。
機身輕巧便攜:主機尺寸約 96×35×145mm,重 280g,電源可選 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池,使用靈活,便于現(xiàn)場移動作業(yè)。
、SELN-011B主要技術(shù)參數(shù)
測量核心:X/Y 軸線性角度測量范圍均為 ±0.3°,測量分辨率 0.0002°,零點重復(fù)精度≤±0.001°,響應(yīng)速度≤50ms,可快速捕捉傾斜變化。
數(shù)據(jù)處理與顯示:搭載 32 位微處理器、14 位 A/D 轉(zhuǎn)換器,A/D 分辨率 0.000025°,顯示單位可切換 μm/m、角度(°、°′″),量程切換有 0.01/0.001/0.0001 三檔,超量程(0.3° 及以上)會觸發(fā) OVER 顯示。
尺寸與重量:傳感器尺寸 Φ50×19mm,含 SVS 底座重 70g;主機尺寸約 96×35×145mm,重量 280g,便于狹小空間安裝與攜帶。
供電與環(huán)境:電源為 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池,工作溫度 - 10℃至 + 50℃,適配工業(yè)常見工作環(huán)境,具備防塵與抗電磁干擾能力。
數(shù)據(jù)功能:支持角度數(shù)據(jù)存儲,可通過 USB 接口實時外部輸出數(shù)據(jù),滿足數(shù)據(jù)記錄與追溯需求。
、SELN-011B典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造領(lǐng)域:用于光刻機、晶圓鍵合機、CMP 拋光平臺等設(shè)備的水平校準(zhǔn),保證晶圓刻蝕、光刻等工序的芯片良率,數(shù)據(jù)存儲功能便于設(shè)備維護與歷史數(shù)據(jù)追溯。
精密加工設(shè)備:適配五軸加工中心、坐標(biāo)測量機、光學(xué)平臺等,校準(zhǔn)基準(zhǔn)面水平度,保障加工精度,數(shù)據(jù)輸出可輔助設(shè)備狀態(tài)分析與預(yù)防性維護。
自動化產(chǎn)線與機器人:用于機器人關(guān)節(jié)、機械臂安裝基座的水平校準(zhǔn),適配狹小安裝空間,配合數(shù)據(jù)輸出功能,可實現(xiàn)產(chǎn)線設(shè)備水平狀態(tài)的批量監(jiān)控與質(zhì)量管控。
特種設(shè)備安裝與維護:如風(fēng)力發(fā)電機組、衛(wèi)星接收天線、大型精密儀器的安裝調(diào)試,通過數(shù)據(jù)存儲記錄安裝時的水平數(shù)據(jù),便于后續(xù)維護對比,保障設(shè)備長期穩(wěn)定運行。
精密儀器質(zhì)檢:適用于各類精密檢測儀器的出廠水平校準(zhǔn)與定期校驗,數(shù)據(jù)存儲可留存質(zhì)檢記錄,滿足行業(yè)質(zhì)量認(rèn)證要求。
、SELN-011B操作流程簡述
準(zhǔn)備工作:選擇 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池供電,將傳感器通過有線連接主機,安裝 SVS 底座并平穩(wěn)放置在待測量基準(zhǔn)面,確保接觸面清潔無異物,避免影響測量精度。
設(shè)備初始化:開機后進入主界面,完成零點校準(zhǔn)(將傳感器置于標(biāo)準(zhǔn)水平臺,長按零點校準(zhǔn)鍵,待數(shù)值穩(wěn)定后確認(rèn)),切換顯示單位與量程檔位,設(shè)置合格角度范圍參數(shù),開啟數(shù)據(jù)存儲或輸出功能。
水平測量與調(diào)整:觀察觸摸屏上 X/Y 軸的實時傾斜數(shù)據(jù),同步調(diào)節(jié)待校準(zhǔn)設(shè)備的支撐結(jié)構(gòu),直至數(shù)值處于合格范圍內(nèi),期間實時查看數(shù)據(jù)變化,避免過度調(diào)整。

數(shù)據(jù)記錄與收尾:測量達(dá)標(biāo)后,通過 USB 接口導(dǎo)出數(shù)據(jù)用于追溯;測量結(jié)束后關(guān)機,取下傳感器與主機,做好清潔收納,長期不用時取出電池,避免設(shè)備損壞。

監(jiān)控詳情

規(guī)格

物品 目錄
傳感器部門 線性 - 角度 X方向±0.3度Y,±0.3度
測量分辨率 0.0002度
零點重復(fù)性 ±小于0.001度
響應(yīng)速度 不到50毫秒
服務(wù)溫度 -10°C~+50°C
身體部位 微控制器 32位
A/D部門 14位
測量范圍 ±0.3度
A/D 分辨率 0.000025 deg
展示單元 0.0001 度
傳球范圍設(shè)定范圍 0.0001 度
范圍切換 0.01/ 0.001/ 0.0001
OVER 表示 0.3度或更高
特色 傳感器連接數(shù)量 1 ch
展示部門 4.3英寸彩色LCD觸摸面板
480×272個點
測量數(shù)據(jù) 保存到文件
(*多15個文件,120分/文件)
外部數(shù)據(jù)輸出功能(SELN-011B→microSD)
實時輸出USB
電源 專用交流適配器 DC6V/2A
4節(jié)AA電池(1.5伏)
尺寸 監(jiān)視器 W96×D35×H145毫米
傳感器(基于 SUS) φ50×H19 mm
電纜 2米
重量 監(jiān)視器 392克
傳感器 70克
配件 4節(jié)AA電池(1.5伏)
專用交流適配器 DC6V/2A
說明書
保修卡

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